伺服系統精度指伺服系統輸出量偏離輸入量的精確程度。伺服驅動(dòng)器精度以動(dòng)態(tài)誤差、穩態(tài)誤差和靜態(tài)誤差三種形式表示。伺服系統允許的偏差一般都在0.01～0.001mm，高精度伺服系統的偏差可達到±0.0001一±0.00005mm。伺服系統對分辨率也有一定的要求，系統分辨率取決于系統穩定工作性質(zhì)和所使用的位置檢測元件。目前的閉環(huán)伺服系統都能達到1um的分辨率，同時(shí)數控測量裝置的分辨率可達0.1um。伺服驅動(dòng)器擁有的精確檢測裝置可以保證信號不失真。
由于被控對象各不相同，伺服驅動(dòng)器精度分類(lèi)也就不同。比如在機床定位控制中，伺服系統精度主要是定位精度;液位控制系統中的液位精度;溫度控制系統中的溫度精度等。